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    KSS-2L-5D

    產品型號 KSS-2L-5D
    產品名稱 刻蝕上料機
    生產工藝 在線式、刻蝕工藝
    設備功能 將花籃中的硅片取出輸入至鏈式清洗機。
    適用硅片
    單晶/多晶 單晶多晶兼容
    外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
    厚度 160μm-220μm
    工裝
    花籃工裝 4.76×100槽花籃、可定制
    設備運行能力
    實際運行產能(凈產能) ≥5500片/小時
    正常運行時間(up time) ≥98%
    平均無故障時間(MTBF) MTBF≥500小時
    平均故障修復時間(MTTR) MTTR≤1小時
    碎片率 ≤0.03% ,A片(不含本身隱裂、線痕等缺陷片)
    動力要求
    電源 AC220V,50HZ
    功率 5KW
    壓縮空氣 0.6MPA,主氣路管道直徑≥20mm,連接氣管直徑≥12mm
    環境
    溫度/濕度 0-35℃,40%-60%
    潔凈度 符合十萬級潔凈區規范要求
    噪音 ≤60db
    設備結構
    整機重量 2000KG
    外形尺寸(mm) 長×寬×高(3100mm×2600mm×2000mm)
    設備操作方位 面向主機觸摸屏,自動化在左側是左手機,反之為右手機。
    花籃工位 倆軌單側
    花籃裝卸方式 人工裝卸:人工裝卸時,手工直接將花籃放置于花籃工作臺;
    亦可對接AGV小車。
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